Genaueste Messungen für Flüssigkeitsflussraten von 0-120ml/min

Der neueste Flüssigkeitssensor des Schweizer Sensorherstellers Sensirion überzeugt durch seine hochreinen Materialien und exzellente Messgenauigkeit. Der kleine Sensor mit dem Namen SLQ-QT500 trifft damit genau die Bedürfnisse der Halb-leiterindustrie: "Der SLQ-QT500 passt  ideal  zu den hohen Reinheitsanforderungen der Halbleiterindustrie. Er kann für die Überwachung von Beschichtungsprozessen mit einer Vielzahl von Flüssigkeiten verwendet werden und ermöglicht optimale Prozesssicherheit." sagt Dr. Andres Laib, Director of Sales Liquid Flow Products.

Der SLQ-QT500 deckt Flussraten von 0 - 120ml/min ab. Dabei ist sein Flusskanal wie bei allen Flüssigkeitssensoren von Sensirion absolut gerade und ohne bewegliche Teilchen. Der Sensor basiert auf der patentierten CMOSens® Technologie und misst mikrothermisch durch die Kapillarwand des Flusskanals hindurch - so kommt der Chip nicht mit der zu messenden Flüssigkeit in Berührung. Lediglich die PFA-Anschlüsse sowie der Quarzglas-Flusskanal stehen in unmittelbarem Kontakt mit der Flüssigkeit. Dies garantiert dem Sensor eine äusserst hohe chemische Beständigkeit. Dank dieser Eigenschaften sowie der digitalen Schnittstelle RS485 wird eine aussergewöhnlich zuverlässige Messung mit einer Sampling Rate von bis zu 1 ms erreicht.

Durch die einzigartige Technologie sind selbst Flüssigkeiten mit einer sehr hohen Viskosität (100.000 cp und höher) kein Problem. Andres Laib meint: „Der Sensor ist sowohl für Messungen von Lösungsmittel auf Kohlenwasserstoffbasis wie zum Beispiel Fotolack sowie für auf Wasser basierenden Flüssigkeiten wie TARC und H2O2 geeignet. Zudem können Flüssigkeiten mit praktisch jeder Viskosität sowie Flüssigkeiten mit Partikeln gemessen werden. Dies macht den Sensor einzigartig im Flusssensor-Bereich.”

Weitere Informationen zu diesem Produkt finden Sie hier: http://www.sensirion.com/slq-qt500 oder Sie besuchen uns auf der Semicon West (Stand 2147). Wir freuen uns auf Ihren Besuch!

Über Sensirion
Die Sensirion AG mit Sitz im schweizerischen Stäfa ist der international führende Hersteller von digitalen Mikrosensoren und –systemen. Die Produktpalette umfasst Feuchte- und Temperatursensoren, Massenflussregler, Durchflusssensoren für Gase und Flüssigkeiten sowie Differenzdrucksensoren. Ein internationales Netzwerk mit Büros in den USA, China, Taiwan, Japan und Korea unterstützt internationale OEM Kunden mit massgeschneiderten Sensorsystemlösungen für verschiedenste Anwendungen. Dazu gehören unter anderem analytische Instrumente, Konsumgüter sowie Anwendungen im Bereich der Automobilindustrie, Medizintechnik und HLK-Industrie. Die Produkte von Sensirion zeichnen sich durch die Verwendung der patentierten CMOSens® Technologie aus. CMOS basierenden Sensorelementen und -systemen bieten eine intelligente Systemintegration, einschliesslich Kalibration und digitaler Schnittstelle. Ausdruck von Sensirions Kompetenz als zuverlässiger OEM-Partner ist die Zertifizierung des Qualitätsmanagementsystems nach Norm ISO/TS 16949.

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