Absolut-Interferometer: Neue Vakuumsensoren mit 90°-Strahlengang

Die Micro-Epsilon Absolut-Interferometer setzen neue Maßstäbe in der hochpräzisen Abstandsmessung. Der neue Miniatur-Sensor IMP-DS10/90/VAC ist für den Einsatz im Vakuum konzipiert und erlaubt dank 90 Grad Strahlengang eine platzsparende Integration. Kompatibel ist der Sensor mit den Controllern interferoMETER IMS5400 oder IMS5600.

Die Absolut-Interferometer interferoMETER 5400-DS und 5600-DS werden zur Abstandsmessung mit Nanometer-Genauigkeit eingesetzt. Die Produkgruppe wurde nun um neue Sensoren mit einem großen Grundabstand von 10 mm erweitert. Diese sind für Hochpräzisionsapplikationen in Reinraumumgebungen und im Vakuum konzipiert, beispielsweise für Messungen auf beschichtete Wafer. Eine nichtmagnetische Titan UHV-Variante ermöglicht zudem den Einsatz bei starken Magnetfeldern wie sie unter anderem in der Medizintechnik im Kernspin oder dem Elektronenstrahlmikroskop vorkommen.

Die Bauweise mit 90°-Strahlengang reduziert die benötigte Bauraumtiefe enorm. Je nach Wahl des Controllers sind Linearitäten von < ±50 nm oder < ±10 nm möglich. Für eine optimale Integration in verschiedene Steuerungen und Produktionsprogramme verfügen die innovativen Absolut-Interferometer über umfangreiche Anbindungsmöglichkeiten. Sie umfassen sowohl digitale Schnittstellen wie Ethernet, EtherCAT, RS422, PROFINET und EtherNet/IP als auch einen Analogausgang. Die gesamte Konfiguration des Controllers und dessen Sensoren findet ohne zusätzliche Software wie gewohnt über das Webinterface statt.