Hochrobuster MEMS-basierter Drucksensor für direkte und ölgefüllte Sensorik

11. Dezember, 2014 - Tessenderlo, Belgien. Melexis präsentiert zwei neue Drucksensoren, die hohe Empfindlichkeit und Linearität bieten. Die Automotive-qualifizierten (AEC-Q100), diskreten MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical) MLX90815 und MLX90816 messen den absoluten Druck in anspruchsvollen Umgebungen. Der MLX90815 eignet sich für Drücke zwischen 0 und 30 bar (absolut); der MLX90816 für 30 bis 50 bar (absolut). Die maximale Linearitätsabweichung beider Bausteine beträgt nur 0,2% FS. Die Empfindlichkeit des MLX90815 liegt bei 1,5mV/V/bar; die des MLX90816 bei 0,5mV/V/bar.

Das Sensorelement der MEMS-Bausteine besteht aus einer piezoresistiven Wheatstone-Brücke, die mit einer mikrobearbeiteten Silizium-Druckmembran verbunden ist, die in Melexis‘ eigener Prozesstechnik gefertigt wurde. Wird Druck auf die Membran ausgeübt, ergibt sich eine Differenzspannungsänderung über den Ausgängen der Wheatstone-Brücke, wenn eine Vorspannung an den Brückeneingängen anliegt.

Der MLX90815 und MLX90816 können durch Melexis‘ Sensorschnittstellen-ICs (z.B. MLX90320) unterstützt werden, um die Aufbereitung des Ausgangssignals durchzuführen. Die Sensoren eigenen sich für verschiedene Druckmessungen in Fahrzeugen, als auch für industrielle Prozesssteuerungen, Haushaltsgeräte, Medizintechnik und Consumerelektronik.

Jeder Sensor bietet einen Betriebstemperaturbereich von -40 bis 150 °C und garantiert einen stabilen Betrieb unter rauen Umgebungsbedingungen. Die Bausteine lassen sich direkt in herkömmliche nicht-korrosive/nicht-aggressive Medien oder in ölgefüllte Sensormodule für höhere Robustheit verbauen.

„Mit dieser neuen Erweiterung unseres Sensorangebots stärkt Melexis seine Position als One-Stop-Shop für fortschrittliche Drucksensorsysteme“, erklärte Laurent Otte, Product Line Manager Pressure Sensors bei Melexis. „Wir bieten nicht nur hervorragende Drucksensoren, sondern auch ein umfassendes Angebot zugehöriger Schnittstellen-/ Signalverarbeitungs-ICs.“