Präzisions-XY-Messtisch mit Nanometerauflösung für industrielle Anwendungen

Physik Instrumente (PI): Der neue MCS Kreuztisch von PI miCos für die industrielle Messtechnik vereint hohe Führungs- und Positioniergenauigkeit mit Traglasten bis 20 kg und hoher Dynamik.

Anwendungsgebiete sind industrielle Oberflächenmesstechniken wie Topologiemessungen an Werkstücken und Optiken oder Strukturmessungen an Halbleiterwafern. Die hohe Belastbarkeit von 20 kg ermöglicht die Montage weiterer Achsen, z.B. von Drehverstellern, Hubmodulen und Kippverstellern auf der Plattform.

Seine Leistungsmerkmale erhält das MCS-System durch die gezielte Zusammenführung von mechanischen und elektronischen Präzisionskomponenten. Mit einem optional erhältlichen Linearen-coder, basierend auf einem interferometrischen Wegmesssystem erreicht der MCS eine Auflösung von 5 Nanometern bei einer Wiederholgenauigkeit von 0,2 µm und einer Positioniergenauigkeit von 3 µm auf den gesamten Stellweg von 102 mm je Achse.

Geringe Geradheits- und Ebenheitsabweichungen in der XY-Bewegungsebene von unter 2 µm sprechen für die hohe Präzision des Systems.

Der MSC wird wahlweise von DC-Motoren, Schrittmotoren oder magnetischen Linearmotoren angetrieben. Im System mit einem SMC Hydra Motion Controller von PI miCos erreicht der Kreuztisch einerseits Geschwindigkeiten von bis zu 200 mm/s andererseits ist er in der Lage, sich mit Geschwindigkeiten von weniger als 1 µm/s konstant zu bewegen.

Über PI miCos
Die miCos GmbH mit Sitz in Eschbach bei Freiburg, wurde 1990 gegründet und gehört heute als PI°miCos zur leistungsfähigen Unternehmensgruppe der in Karlsruhe ansässigen Firma Physik Instrumente (PI). Mit aktuell über 50 Mitarbeitern entwickelt, fertigt und vertreibt das Breisgauer Unternehmen weltweit innovative Systeme und Komponenten für hochpräzise Positionieranwendungen. Einen Schwerpunkt bildet dabei die optische Messtechnik in Forschung und Industrie. Hierfür bietet PI°miCos neben einem umfangreichen Standardprogramm auch kundenspezifische Systemlösungen mit mehreren Achsen an. Ein breitgefächertes Applikations-Know-how ist der Garant für die Umsetzung technisch anspruchsvoller Lösungen. Innovative Positioniersysteme für Ult-rahochvakuum-Anwendungen liefern dafür ebenso ein Beispiel wie parallelkinematische Hexapoden mit sechs Freiheitsgraden oder Luftlagerachsen für höchste Ablaufgenauigkeiten.