Sensor zur Dosierung kleinster Flüssigkeitsvolumen

Der Schweizer Sensorhersteller Sensirion AG lanciert neu einen Durchflusssensor für kohlenwasserstoffbasierte Flüssigkeiten wie Fotolacke und Lösungsmittel für Flussraten unterhalb von 120 ml/min. Der auf Dosierungsanwendungen mit hohen Reinheitsanforderungen in der Halbleiter- und Solarindustrie zugeschnitte Sensor besticht durch schnelle Antwortzeiten von ~40 ms und höchste Sensitivität bis hinunter zu 3 ml/min. Zudem ermöglicht er die Erkennung von Luftblasen.

Der Sensor misst mediengetrennt und ohne bewegte Teile durch die Wand eines geraden Flusskanals. Die Flüssigkeit kommt dabei ausschliesslich mit Teflon und Quartzglas in Kontakt. Der kleine und leichte Sensor ist mit Anschlüssen für 4x3 mm Schläuche ausgestattet und verfügt über eine intelligente und robuste digitale RS485 Schnittstelle für lange Distanzen sowie hohe Buskapazität.

Gemäss des verantwortlichen Produktmanagers Jonas Horn eröffnet der SLQ-QT105 damit neue Möglichkeiten bei Prozesssteuerungen in der Halbleiterindustrie sowie anderen Märkten. Aufgrund von langsamen Antwortzeiten, Problemen mit Luftblasen und geringer Wiederholgenauigkeit bei kleinen Durchflüssen erfüllten existierende mechanische Lösungen wie Schaufelräder und Ultraschalldurchflussmesser die Erwartungen bis anhin nicht. Mit dem SLQ-QT105 stehen die Vorteile der einzigartigen CMOSens® Technologie nun erstmalig auch für kritische Halbleiteranwendungen zur Verfügung.

Über Sensirion

Die Sensirion AG mit Sitz im schweizerischen Stäfa gehört zu den international führenden Herstellern von CMOS basierenden Sensorelementen und -systemen. Die hochwertige Produktpalette umfasst Feuchte- und Temperatursensoren, Massenflussregler, Durchflusssensoren für Gase und Flüssigkeiten sowie Differenzdrucksensoren. Sensirion unterstützt internationale OEM Kunden mit massgeschneiderten Sensorsystemlösungen für verschiedenste Anwendungen. Dazu gehören unter anderem analytische Instrumente, Konsumgüter sowie Anwendungen im Bereich der Automobilindustrie, Medizintechnik und HLK-Industrie. Die Produkte von Sensirion zeichnen sich durch die Verwendung der patentierten CMOSens® Technologie aus. So profitieren die Kunden von einer intelligenten Systemintegration, einschliesslich Kalibration und digitaler Schnittstelle. Ausdruck von Sensirions Kompetenz als zuverlässiger OEM-Partner ist die im März 2008 erlangte Zertifizierung des Qualitätsmanagementsystems nach Norm ISO/TS 16949.