Mit IRIS durch Wände messen

Mit dem neuen MSA-650 IRIS Micro System Analyzer von Polytec können die MEMS-Entwickler nun direkt durch die Siliziumkappe des Bauelementes hindurch die Bewegung der MEMS-Komponenten hochaufgelöst in Echtzeit erfassen – bei Frequenzen bis zu 25 MHz. Ermöglicht wird dies durch eine innovative, patentierte Messtechnik mittels eines speziellen Infrarot-Interferometers. Die integrierte IR-Kamera schaut ebenfalls durch die Kappe hindurch, liefert hochaufgelöste Bilder der MEMS-Mechanik und ermöglicht mittels stroboskopischer Videomikroskopie eine Messung der planaren Bewegungskomponente („In-Plane“).

Die Hauptvorteile des neuen MSA sind die schnelle Messung unter den tatsächlichen Betriebsbedingungen ohne aufwendige Präparation sowie die exzellente Datenqualität aufgrund der kurzkohärent-interferometrischen Unterdrückung von Störeinflüssen.