Inertialsensoren

Kundenspezifische Fertigung hochgenauer MEMS-Inertialsensoren

First Sensor AG gibt die erfolgreiche Qualifikation seiner hochgenauen kapazitiven Silizium-Inertialsensoren und den Start der Serienproduktion für April 2017 bekannt. Die Sensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration bestehen aus einem nach patentierten mikromechanischen Verfahren (HARMS, AIM) hergestellten Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse. Die Inertialsensoren erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10 µg bzw. 0,0005° (2 Bogensekunden) und können sowohl mechanisch als auch elektrisch auf die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden. Zusätzlich stehen Evaluation-Kits für die einfache und schnelle Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.

First Sensors hochgenaue Inertialsensoren bieten überlegene Leistungsmerkmale und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis im Vergleich zu existierenden Lösungen. Die einkristallinen Silizium-Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten, große Signal-Rausch-Abstände und eine hervorragende Temperaturstabilität. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten durch die Isolation der Komponenten mit Hilfe eines Luftspalts. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen dadurch eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.

Die wichtigsten Merkmale der MEMS-Inertialsensoren:

• Patentierte mikromechanische Herstellungsverfahren (HARMS, AIM) der Sensorelemente
• Konfigurierbare ASIC-Signalverarbeitung mit digitalem Ausgangssignal
• Sehr große Signal-Rausch-Verhältnisse mit Auflösungen von 10 µg bzw. 0,0005°
• Flexible kundenspezifische Anpassungen

First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.

Über First Sensor
First Sensor zählt zu den weltweit führenden Anbietern auf dem Gebiet der Sensorik. In diesem Wachstumsmarkt entwickeln und produzieren wir kundenspezifische Lösungen für die stetig zunehmende Zahl von Anwendungen in den Zielmärkten Industrial, Medical und Mobility. Dabei ist es unser Anspruch, den Herausforderungen der Zukunft mit unseren innovativen Sensorik-Technologien frühzeitig zu begegnen und sie zu lösen.