Wirbelstromsensoren mit Embedded Coil Technology

Micro-Epsilon hat eine völlig neue Fertigungstechnologie für Wirbelstromsensoren entwickelt. Mit der "Embedded Coil Technology" (ECT) wird der Sensoraufbau in ein anorganisches Trägermaterial temperatur- und formstabil eingebettet. Herkömmlich gewickelte Sensorspulen werden damit ersetzt, sogar elektronische Bauteile nimmt das Trägermaterial auf. Die Technologie bietet viel Freiheit in der physischen Gestaltung der Sensoren, so können die ECT-Sensoren bei speziellen Einsatzumgebung an die Umgebung angepasst werden. Die Elektronik wird entweder in den Sensor integriert oder auch abgesetzt ausgeführt. Die wesentlichen Vorteile der Technologie sind hohe Einsatztemperaturen von bis zu 350°C, eine extreme Temperaturstabilität, hohe mechanische Belastbarkeit und die Anwendung bei starken elektromagnetischen Feldern. Durch die hermetisch dichte Kapselung der Sensoren werden sie auch im Ultra-Hochvakuum eingesetzt.

Die neue Sensortechnologie konnte sich bereits vielfach in anspruchsvollen Anwendungen bewähren. So werden ECT-Sensoren bei der Ausrichtung von Spiegelsegmenten in neuen Spiegelteleskopen wegen der hohen Temperaturstabilität oder zur Messung des Mahlspalts von Refinern in der Papierindustrie wegen der mechanischen Belastbarkeit verwendet. In der Halbleiterindustrie überzeugen sie durch die Beständigkeit im UHV und bei starken elektromagnetischen Feldern.