Hochgenaue MEMS-Inertialsensoren mit hervorragender Auflösung

First Sensor AG präsentiert eine neue Technologieplattform zur Herstellung hochgenauer Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration. Die kapazitiven Sensoren basieren auf einkristallinen Silizium-Sensorelementen und neusten mikromechanischen Herstellungsverfahren. Die MEMS-Sensoren erreichen ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie eine hervorragende Temperaturstabilität und erkennen schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen. Die Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten.

First Sensors hochgenaue Inertialsensoren bieten überlegene Leistungsmerkmale und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis im Vergleich zu existierenden Lösungen. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30 ° erreichen eine Rauschdichte kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 ° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±8 g und ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Alle MEMS-Inertialsensoren können auf Grund der modularen Technologie flexibel und kostengünstig an kundenspezifische Anforderungen angepasst werden. Das kapazitive Sensorelement und die ASIC-Signalverarbeitung sind in ein hermetisch abgeschlossenes SMD-Gehäuse für die platzsparende Leiterplattenmontage integriert. Zusätzlich stehen verschiedene Entwicklungsplatinen für die einfache und schnelle Auswertung der Sensorsignale zur Verfügung.

Die wichtigsten Merkmale der neuen Inertialsensoren:

• Neueste mikromechanische Herstellungsverfahren (HARMS, AIM)
• Sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis
• Hervorragende Temperaturstabilität
• Flexible kundenspezifische Anpassungen

First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.