Nanometergenaue Positionsregelung mit PISeca™ kapazitiven Wegsensoren

Die Firma Physik Instrumente (PI) bietet einen neues dreikanaliges Servocontrollermodul E-509.E3 an, das der Positionsregelung von Piezo-Nanopositioniersystemen mithilfe von externen kapazitiven Einelektroden-Sensoren der PISeca™ Serie dient.

Die PISeca™ Sensorköpfe D-510 messen berührungslos Abstand oder Position gegen alle elektrisch leitenden Oberflächen und sind erhältlich für die Messbereiche 20 µm, 50 µm und 100 µm. Der Messbereich kann elektronisch bis auf maximal 500 µm erweitert werden.

Das Messsystem erreicht eine Auflösung bis 0,2 Nanometer (< 0,001% des Messbereichs). Dank der integrierten Linearisierungsfunktion wird eine exzellente Linearität bis 20 Nanometer erreicht (< 0,1% des Messbereichs). Aufgrund ihrer hohen dynamischen Bandbreite bis zu 10 kHz eignen sich die Sensorsysteme auch für dynamische Schwingungsmessung von Maschinen- und Anlagenteilen.

Das E-509.E3 Servocontrollermodul ermöglicht die Positionsregelung im bewährten modularen Controllersystem E-500 von PI, für das auch die geeigneten Piezoverstärker-, Display- und PC-Interfacemodule zur Verfügung stehen.